তাপীয় চাপ রোধ, প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা উন্নত করতে এবং চিপের কর্মক্ষমতা বৃদ্ধির জন্য সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অপরিহার্য। উচ্চ-নির্ভুলতা চিলারগুলি ফাটল এবং ডিলামিনেশনের মতো ত্রুটিগুলি কমাতে, অভিন্ন ডোপিং নিশ্চিত করতে এবং ধারাবাহিক অক্সাইড স্তরের পুরুত্ব বজায় রাখতে সাহায্য করে - ফলন এবং নির্ভরযোগ্যতা বৃদ্ধির মূল কারণ।