تراکم رطوبت می تواند بر عملکرد و طول عمر تجهیزات لیزر تأثیر بگذارد. بنابراین اجرای اقدامات موثر پیشگیری از رطوبت ضروری است. سه اقدام برای جلوگیری از رطوبت در تجهیزات لیزری برای اطمینان از پایداری و قابلیت اطمینان آن وجود دارد: حفظ محیط خشک، تجهیز اتاقهای دارای تهویه مطبوع، و تجهیز به چیلرهای لیزری با کیفیت بالا (مانند چیلرهای لیزری TEYU با کنترل دمای دوگانه).