A gyártási igények kielégítése érdekében a félvezető-feldolgozó berendezések drámai növekedést fognak tapasztalni. Ezek a berendezések közé tartozik a léptetőgép, a lézeres maratógép, a vékonyréteg-leválasztó berendezés, az ionimplantátor, a lézeres írógép, a lézeres lyukfúró gép és így tovább.