Nákvæm hitastýring er nauðsynleg í framleiðslu hálfleiðara til að koma í veg fyrir hitastreitu, bæta stöðugleika ferlisins og auka afköst örgjörva. Hánákvæmir kælir hjálpa til við að draga úr göllum eins og sprungum og skemmdum, tryggja einsleita blöndun og viðhalda stöðugri þykkt oxíðlagsins - lykilþættir í að auka afköst og áreiðanleika.