Laser kælir eru nauðsynlegir til að tryggja gæði obláta teninga í hálfleiðaraframleiðslu. Með því að stjórna hitastigi og lágmarka hitauppstreymi hjálpa þeir til við að draga úr burrs, flísum og yfirborðsóreglum. Áreiðanleg kæling eykur stöðugleika leysisins og lengir líftíma búnaðarins, sem stuðlar að meiri flísafrakstur.
Nákvæm hitastýring fyrir leysikerfi og iðnaðarforrit frá árinu 2002
Tungumál
