अर्धचालक उत्पादनमा थर्मल तनाव रोक्न, प्रक्रिया स्थिरता सुधार गर्न र चिप कार्यसम्पादन बढाउन सटीक तापक्रम नियन्त्रण आवश्यक छ। उच्च-परिशुद्धता चिलरहरूले दरार र डिलेमिनेशन जस्ता दोषहरू कम गर्न, एकसमान डोपिङ सुनिश्चित गर्न र निरन्तर अक्साइड तह मोटाई कायम राख्न मद्दत गर्छन् - उपज र विश्वसनीयता बढाउने प्रमुख कारकहरू।