Controlul precis al temperaturii este esențial în fabricarea semiconductorilor pentru a preveni stresul termic, a îmbunătăți stabilitatea procesului și a spori performanța cipurilor. Chillerele de înaltă precizie ajută la reducerea defectelor precum fisurile și delaminarea, asigură un dopaj uniform și mențin o grosime constantă a stratului de oxid - factori cheie în creșterea randamentului și a fiabilității.