Kontrolli i saktë i temperaturës është thelbësor në prodhimin e gjysmëpërçuesve për të parandaluar stresin termik, për të përmirësuar stabilitetin e procesit dhe për të përmirësuar performancën e çipit. Ftohësit me precizion të lartë ndihmojnë në zvogëlimin e defekteve si çarjet dhe shkëputja e shtresave, sigurojnë doping uniform dhe ruajnë trashësinë e qëndrueshme të shtresës së oksidit - faktorë kyç në rritjen e rendimentit dhe besueshmërisë.