Проблеми са метализацијом у обради полупроводника, као што су електромиграција и повећани контактни отпор, могу смањити перформансе и поузданост чипа. Ови проблеми су углавном узроковани температурним флуктуацијама и микроструктурним променама. Решења укључују прецизну контролу температуре помоћу индустријских чилера, побољшане контактне процесе и употребу напредних материјала.
Прецизна контрола температуре за ласерске системе и индустријске примене од 2002. године
Језик
