Ang tumpak na kontrol sa temperatura ay mahalaga sa paggawa ng semiconductor upang maiwasan ang thermal stress, mapabuti ang katatagan ng proseso, at mapahusay ang pagganap ng chip. Nakakatulong ang mga high-precision na chiller na bawasan ang mga depekto tulad ng mga bitak at delamination, matiyak ang pare-parehong doping, at mapanatili ang pare-parehong kapal ng layer ng oxide—mga pangunahing salik sa pagpapalakas ng ani at pagiging maaasahan.