Yarımkeçiricilərin istehsalında istilik gərginliyinin qarşısını almaq, prosesin sabitliyini yaxşılaşdırmaq və çip performansını artırmaq üçün dəqiq temperatur nəzarəti vacibdir. Yüksək dəqiqlikli soyuducular çatlar və təbəqələşmə kimi qüsurları azaltmağa, vahid qatqı təmin etməyə və ardıcıl oksid qatının qalınlığını qorumağa kömək edir - məhsuldarlığı və etibarlılığı artıran əsas amillər.