کنترل دقیق دما در تولید نیمههادیها برای جلوگیری از تنش حرارتی، بهبود پایداری فرآیند و افزایش عملکرد تراشه ضروری است. چیلرهای با دقت بالا به کاهش عیوبی مانند ترک و لایه لایه شدن، تضمین آلایش یکنواخت و حفظ ضخامت ثابت لایه اکسید کمک میکنند - که از عوامل کلیدی در افزایش بازده و قابلیت اطمینان هستند.