בקרת טמפרטורה מדויקת חיונית בייצור מוליכים למחצה כדי למנוע עומס תרמי, לשפר את יציבות התהליך ולשפר את ביצועי השבב. צ'ילרים מדויקים במיוחד מסייעים בהפחתת פגמים כמו סדקים ופירוק, להבטיח סימום אחיד ולשמור על עובי שכבת תחמוצת עקבי - גורמים מרכזיים בשיפור התפוקה והאמינות.