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韓国のテクノロジー企業のウェハー開発に、産業用チラーシステムCWUP-20が貢献

そのため、韓国のテクノロジー企業の購買部長であるパク氏は、産業用冷却システムCWUP-20を搭載したフェムト秒レーザーウェハーダイシングマシンを複数台購入した。

産業用チラーシステム

ウェハーは、多くの電子機器の中核部品であるチップの基本材料であり、ウェハー開発におけるダイシング工程は、非常に小さな領域で高い精度が求められるため、非常に難易度が高い。そのため、韓国のテクノロジー企業の購買部長であるパク氏は、産業用冷却システムCWUP-20を搭載したフェムト秒レーザーウェハーダイシング装置を複数台購入した。

パク氏によると、フェムト秒レーザーウェハダイシング装置はウェハ開発において優れた性能を発揮するが、これは産業用チラーシステムCWUP-20の功績であり、このシステムが装置に超精密な温度制御を提供しているためだという。では、このチラーシステムはどれほど精密なのだろうか?

S&A Teyuの産業用チラーシステムCWUP-20は、±0.1℃の温度安定性を実現しており、海外メーカーが独占していた±0.1℃レーザー冷却技術の優位性を覆します。この高精度温度制御により、フェムト秒レーザーウェハダイシング装置の温度をより適切に維持することができ、長期的な動作性能と耐用年数を保証します。さらに、このレーザー水冷装置はCE、ISO、REACH、ROHS規格に準拠しており、環境にも配慮しています。

S&A Teyu社製産業用チラーシステムCWUP-20の詳細な仕様については、 https://www.teyuchiller.com/portable-water-chiller-cwup-20-for-ultrafast-laser-and-uv-laser_ul5をクリックしてください。

産業用チラーシステム

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