അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിൽ താപ സമ്മർദ്ദം തടയുന്നതിനും, പ്രക്രിയ സ്ഥിരത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, ചിപ്പ് പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും കൃത്യമായ താപനില നിയന്ത്രണം അത്യാവശ്യമാണ്. ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ചില്ലറുകൾ വിള്ളലുകൾ, ഡീലാമിനേഷൻ പോലുള്ള വൈകല്യങ്ങൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും, ഏകീകൃത ഡോപ്പിംഗ് ഉറപ്പാക്കുന്നതിനും, സ്ഥിരമായ ഓക്സൈഡ് പാളി കനം നിലനിർത്തുന്നതിനും സഹായിക്കുന്നു - വിളവും വിശ്വാസ്യതയും വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ.