Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд жижиг электрон эд анги, чипийн дизайн, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэл, борлуулалт багтдаг. Шинжлэх ухаан, технологийн тасралтгүй инноваци, нээлтүүдийн ачаар хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл хурдацтай хөгжиж байна. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нэмэгдэхийн хэрээр үйлдвэрлэгчид бага хугацаанд илүү олон хагас дамжуулагч бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхийг хүсч байна. Үүнээс гадна, орчин үеийн электрон төхөөрөмжүүд жижигрэхийн хэрээр хагас дамжуулагчид ч мөн жижигрэх ёстой. Тиймээс хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх үйл явц нь өндөр үр ашигтай, өндөр хурдтай, илүү боловсронгуй ажиллагааны журам шаарддаг. Лазер боловсруулах технологийн өндөр үр ашиг, тогтвортой байдал нь үүнийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг болгодог.
Лазер технологийг чип үйлдвэрлэлд хэрэглэх нь
Лазер технологи нь хагас дамжуулагчийн салбарт чухал техник болсон. Энэ нь өндөр нарийвчлал, үр ашиг, тогтвортой байдал зэрэг чухал давуу талуудыг санал болгодог бөгөөд микро хэмжээний нарийвчлалтай боловсруулалт, сийлбэр хийх боломжийг олгодог бөгөөд чип үйлдвэрлэлд хүчтэй дэмжлэг үзүүлдэг. Ялангуяа өндөр нягтралтай интеграл хэлхээ болон микроэлектроник төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд лазер технологи нь зайлшгүй шаардлагатай хэрэгсэл, техник болсон.
![Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн лазер технологийн хэрэглээ]()
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн лазер технологийн хэрэглээ
Лазер технологийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд голчлон 4 чиглэлээр ашигладаг: 1) LED вафлиг жижиглэх лазер ашиглах, 2) лазер тэмдэглэгээний техник, 3) лазер импульсийн цэвэрлэгээ, 4) лазер технологийг LED үйлдвэрлэлд хэрэглэх.
Эдгээр хэрэглээ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өөрчлөлт, дэвшлийг ихээхэн дэмжиж, хөгжлийн хурдыг хурдасгасан.
Лазер хөргөгч нь лазер системийн гүйцэтгэл болон нарийвчлалыг баталгаажуулдаг
Хэт их температур нь долгионы уртыг нэмэгдүүлж, улмаар лазер системийн гүйцэтгэлд нөлөөлдөг. Үүнээс гадна, олон лазерын хэрэглээнд хүчтэй цацрагийн фокус шаардлагатай байдаг тул ажиллах температур нь цацрагийн чанарт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Бага температурт ажиллах нь лазер системийн эд ангиудын ашиглалтын хугацааг уртасгаж болно. Тиймээс бид дараахыг ашиглахыг зөвлөж байна TEYU хөргөгч дэвшилтэт температурын хяналтын технологитой. TEYU лазер хөргөгч шилэн лазер, CO2 лазер, хагас дамжуулагч лазер, ионы лазер, хатуу төлөвт лазер гэх мэтт тохиромжтой. Эдгээр нь 42,000Вт хүртэл хөргөх хүчин чадалтай бөгөөд ±0.1℃ дотор температурын нарийн хяналттай. Эдгээр усны хөргөгч нь өндөр үр ашигтай, эрчим хүч хэмнэдэг, байгаль орчинд ээлтэй бөгөөд борлуулалтын дараах найдвартай дэмжлэгтэй ирдэг. TEYU хөргөгч бүр нь стандартчилсан туршилтанд хамрагддаг бөгөөд жилийн тээвэрлэлтийн хэмжээ 120,000 нэгж бөгөөд TEYU таны найдвартай түнш болгодог.
![Шилэн лазер, CO2 лазер, YAG лазерт зориулсан TEYU лазер хөргөгч]()