अर्धवाहक उत्पादनात तापमान नियंत्रण हे थर्मल ताण टाळण्यासाठी, प्रक्रिया स्थिरता सुधारण्यासाठी आणि चिप कार्यक्षमता वाढविण्यासाठी आवश्यक आहे. उच्च-परिशुद्धता चिलर क्रॅक आणि डिलेमिनेशन सारखे दोष कमी करण्यास मदत करतात, एकसमान डोपिंग सुनिश्चित करतात आणि ऑक्साईड थराची जाडी सातत्यपूर्ण राखतात - उत्पन्न आणि विश्वासार्हता वाढवण्यासाठी महत्त्वाचे घटक.