Прецизна контрола температуре је неопходна у производњи полупроводника како би се спречило термичко напрезање, побољшала стабилност процеса и побољшале перформансе чипа. Високопрецизни чилери помажу у смањењу дефеката попут пукотина и деламинације, обезбеђују равномерно допирање и одржавају конзистентну дебљину оксидног слоја – кључни фактори за повећање приноса и поузданости.