Các vấn đề về kim loại hóa trong quá trình xử lý chất bán dẫn, chẳng hạn như sự di chuyển điện và điện trở tiếp xúc tăng lên, có thể làm giảm hiệu suất và độ tin cậy của chip. Những vấn đề này chủ yếu là do biến động nhiệt độ và thay đổi cấu trúc vi mô. Các giải pháp bao gồm kiểm soát nhiệt độ chính xác bằng máy làm lạnh công nghiệp, cải thiện quy trình tiếp xúc và sử dụng vật liệu tiên tiến.
Kiểm soát nhiệt độ chính xác cho hệ thống laser và ứng dụng công nghiệp từ năm 2002
Ngôn ngữ
