Kiểm soát nhiệt độ chính xác là điều cần thiết trong sản xuất chất bán dẫn để ngăn ngừa ứng suất nhiệt, cải thiện độ ổn định của quy trình và tăng cường hiệu suất chip. Máy làm lạnh có độ chính xác cao giúp giảm các khuyết tật như nứt và tách lớp, đảm bảo pha tạp đồng đều và duy trì độ dày lớp oxit nhất quán—các yếu tố chính trong việc tăng năng suất và độ tin cậy.