Laser UV được tạo ra bằng kỹ thuật THG trên ánh sáng hồng ngoại. Chúng là nguồn sáng lạnh và phương pháp chế tạo được gọi là xử lý lạnh. Do độ chính xác cao, laser UV rất nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ, ngay cả sự dao động nhiệt độ nhỏ nhất cũng có thể ảnh hưởng đáng kể đến hiệu suất của nó. Do đó, việc sử dụng các thiết bị làm lạnh nước có độ chính xác tương đương trở nên cần thiết để đảm bảo hoạt động tối ưu của các loại laser đòi hỏi độ chính xác cao này.