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超高速精密レーザープロセス冷却システム CWUP-40 ±0.1°C 安定性 Modbus-485 通信
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超高速レーザーおよびUVレーザー用ポータブルウォーターチラーCWUP-20 ±0.1℃安定性 RS485通信
超高速レーザーUVレーザー用空冷式産業用チラーCWUP-30 ±0.1°Cの高精度温度制御
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