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ウォーターチラー CW-5000 応用事例：化学蒸着（CVD）装置の冷却

2024-06-04

金属材料のコーティングからグラフェンやナノマテリアルといった先端物質の成長、さらには半導体ダイオード材料のコーティングまで、化学気相成長（CVD）プロセスは様々な業界で幅広く利用され、不可欠な存在となっています。CVD装置における運用効率、安全性、そして高品質な堆積結果には、ウォーターチラーが不可欠です。ウォーターチラーは、CVDチャンバーを適切な温度に保ち、システム全体を冷却し、安全な状態に保つことで、高品質な材料堆積を実現します。このビデオでは、TEYU S&A ウォーターチラー CW-5000が、CVD装置における正確で安定した温度維持に重要な役割を果たしている様子をご覧ください。TEYUのCWシリーズウォーターチラーは、0.3kWから42kWまでの容量を持つCVD装置向けの包括的な冷却ソリューションを提供します。

TEYU S&A チラーメーカーの詳細

TEYU S&A Chillerは、2002年に設立されたチラーメーカー兼チラーサプライヤーとして、レーザー業界をはじめとする産業用途向けに優れた冷却ソリューションを提供することに注力しています。現在では、冷却技術のパイオニアとして、レーザー業界における信頼できるパートナーとして認められており、高性能、高信頼性、そしてエネルギー効率に優れた高品質な産業用水チラーを提供することで、その約束を果たしています。

当社の水冷チラーは、様々な産業用途に最適です。特にレーザー用途向けには、スタンドアロン型からラックマウント型まで、低出力から高出力まで、そして±1℃から±0.1℃の安定性技術まで、幅広いレーザーチラーシリーズを開発しています。

当社の水チラーは、ファイバーレーザー、CO2レーザー、YAGレーザー、UVレーザー、超高速レーザーなどの冷却に広く使用されています。当社の産業用水チラーは、CNCスピンドル、工作機械、UVプリンター、3Dプリンター、真空ポンプ、溶接機、切断機、包装機、プラスチック成形機、射出成形機、誘導炉、ロータリーエバポレーター、クライオコンプレッサー、分析機器、医療診断機器などの他の産業用途の冷却にも使用できます。

TEYU S&A 産業用チラーメーカーおよびチラーサプライヤー

#CVD装置用チラー #水チラー