Температураны дәл бақылау термиялық кернеуді болдырмау, процесс тұрақтылығын жақсарту және чип өнімділігін арттыру үшін жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды. Жоғары дәлдіктегі салқындатқыштар жарықтар мен деламиминация сияқты ақауларды азайтуға, біркелкі қоспаны қамтамасыз етуге және оксид қабатының тұрақты қалыңдығын сақтауға көмектеседі — кірістілік пен сенімділікті арттырудың негізгі факторлары.