Неліктен жартылай өткізгіштер өндірісінде температураны бақылау маңызды?

Жартылай өткізгіштер өндірісінде, температураны нақты бақылау  чиптің сапасын, өнімділігін және өнімділігін қамтамасыз етуде маңызды рөл атқарады. Тіпті шамалы температура ауытқулары ақауларға немесе құрылғының істен шығуына әкеліп соқтыратын материалдың мінез-құлқы мен процесс нәтижелерінде елеулі өзгерістер тудыруы мүмкін.

Жылулық кернеудің әсері

Жартылай өткізгішті құрылғылар әртүрлі жылу кеңею коэффициенттері (CTE) бар материалдардың бірнеше қабаттарынан тұрады. Мысалы, кремний пластиналары, металдардың өзара байланыстары және диэлектрлік қабаттар жылдам қыздыру немесе салқындату кезінде әртүрлі жылдамдықпен кеңейеді немесе қысқарады. Бұл сәйкессіздік термиялық кернеуді тудыруы мүмкін, мысалы, елеулі өндірістік мәселелерге әкеледі:

* Жарықтар: Пластиналардағы беткі немесе ішкі жарықтар механикалық тұтастықты бұзуы және құрылғының істен шығуына әкелуі мүмкін.

* Деламинация: Металл немесе диэлектрлік қабаттар сияқты жұқа қабықшалар бөлініп, чиптің электрлік өнімділігін және ұзақ мерзімді сенімділігін әлсіретуі мүмкін.

* Құрылымдық деформация: Құрылғы құрылымдары кернеуге байланысты майысып, ағып кету немесе қысқа тұйықталу сияқты электр ақауларын тудыруы мүмкін.

Жоғары дәлдіктегі температураны бақылаудың рөлі

TEYU өнеркәсіптік салқындатқыштары сияқты жетілдірілген температураны бақылау жүйелері температура тұрақтылығын ерекше дәлдікпен сақтауға арналған. Мысалы, TEYU өте жылдам лазерлі салқындатқыш  ±0,08°C-қа дейінгі бақылау дәлдігін ұсынады, бұл жартылай өткізгіштің маңызды жабдықтары үшін, соның ішінде эфирлер, тұндыру жүйелері және ион имплантаторлары үшін процестің тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіш процестердегі дәл салқындату артықшылықтары

1. Термиялық кернеулі крекингтің алдын алады:  Біркелкі салқындатуды сақтай отырып, салқындатқыштар әртүрлі материалдар арасындағы CTE сәйкессіздігінің әсерін барынша азайтады, термиялық цикл кезінде жарықтар мен қабаттану қаупін тиімді төмендетеді.

2. Допингтің біркелкілігін жақсартады:  Иондарды имплантациялау және одан кейінгі жасыту кезінде тұрақты термиялық жағдайлар пластинкадағы қоспаның тұрақты белсендірілуін қамтамасыз етеді, чип өнімділігі мен сенімділігін арттырады.

3. Оксид қабатының консистенциясын жақсартады:  Температураны дәл реттеу тотығу кезінде шеттен орталыққа жылу градиенттерін жоюға көмектеседі, транзистордың тұрақты сипаттамалары үшін өте маңызды қақпа оксидінің біркелкі қалыңдығын қамтамасыз етеді.

Қорытынды

Температураны бақылау жартылай өткізгіштерді өндіруде өте қажет. Жоғары дәлдіктегі термиялық басқару арқылы өндірушілер термиялық кернеуден туындаған ақауларды азайта алады, қоспалау және тотығу процестерінің біркелкілігін жақсартады және сайып келгенде, жоғары чип шығымдылығына және құрылғының жақсы өнімділігіне қол жеткізе алады.