Ультрафиолетовые лазеры создаются с использованием метода генерации третьей гармоники (THG) на основе инфракрасного света. Это источники холодного света, и метод их обработки называется холодной обработкой. Из-за своей исключительной точности УФ-лазер очень чувствителен к температурным колебаниям, и даже малейшее изменение температуры может существенно повлиять на его работу. В результате использование столь же точных водоохладителей становится необходимым для обеспечения оптимальной работы этих сложных в использовании лазеров.