06-04
වේෆර් ඩයිසිං, ලේසර් සලකුණු කිරීම, ඇනීලිං කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම සඳහා නිරවද්ය උෂ්ණත්ව පාලනය සහතික කිරීම මගින් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ලේසර් සිසිලන යන්ත්ර ප්රධාන කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. නිරවද්ය කාර්මික සිසිලන යන්ත්ර ස්ථාවරත්වය, නිරවද්යතාවය සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න වැඩි දියුණු කරන ආකාරය ඉගෙන ගන්න.