Tia laser UV được tạo ra bằng cách sử dụng kỹ thuật THG trên ánh sáng hồng ngoại. Chúng là nguồn sáng lạnh và phương pháp xử lý chúng được gọi là xử lý lạnh. Do độ chính xác đáng chú ý, tia laser UV rất dễ bị ảnh hưởng bởi sự thay đổi nhiệt độ, ngay cả sự dao động nhiệt độ nhỏ nhất cũng có thể ảnh hưởng đáng kể đến hiệu suất của nó. Do đó, việc sử dụng máy làm lạnh nước có độ chính xác tương đương trở nên cần thiết để đảm bảo hoạt động tối ưu của các tia laser tỉ mỉ này.