Präzise Temperaturregelung ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich, um thermische Belastungen zu vermeiden, die Prozessstabilität zu verbessern und die Chipleistung zu steigern. Hochpräzise Kühler tragen dazu bei, Defekte wie Risse und Delamination zu reduzieren, eine gleichmäßige Dotierung zu gewährleisten und eine gleichbleibende Oxidschichtdicke aufrechtzuerhalten – Schlüsselfaktoren für höhere Ausbeute und Zuverlässigkeit.