Hauv kev tsim khoom siv semiconductor, qhov kub thiab txias tsis yog ib qho yooj yim xwb. Nws yog ib qho ciam teb tsis pom uas txiav txim siab ncaj qha rau qhov tsim tawm thiab kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem. Txij li thaum ua cov wafer thiab txiav cov chip mus rau kev ntim khoom thiab kev tshuaj xyuas, txhua theem vam khom kev tswj hwm thermal kom raug. Raws li cov thev naus laus zis laser tau koom ua ke ntau ntxiv rau hauv cov kab ntau lawm, cov tshuab ua kom txias laser (cov tshuab ua kom txias hauv kev lag luam / cov tshuab ua kom txias meej) tau dhau los ua ib qho tseem ceeb rau kev ua haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom siv semiconductor thiab laser uas muaj qhov tseeb siab.
Vim li cas kev lag luam semiconductor thiaj li rhiab heev rau kev tswj kub?
Kev tsim khoom semiconductor yog txhais los ntawm peb yam tseem ceeb: kev ua haujlwm siab heev, lub zog ceev ceev, thiab kev tsim khoom tas mus li.
Qhov tseeb ntawm kev ua cov wafer twb tau mus txog qib micron thiab txawm tias nanometer. Txawm hais tias lasers xa cov zog siab heev rau thaj chaw hauv zos, lawv kuj tsim cov teebmeem thermal tseem ceeb. Txawm tias qhov kub thiab txias me me hauv lub tshuab cua txias laser tuaj yeem ua rau lub teeb poob qis, qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv, lossis lub zog laser tsis ruaj khov, ua rau muaj kev txiav yuam kev, ntug chipping, thiab txawm tias microstructural puas tsuaj rau cov khoom siv.
Tib lub sijhawm, cov kab ntau lawm semiconductor feem ntau ua haujlwm ntawm qhov siab tshaj plaws rau lub sijhawm ntev. Thaum kev tswj qhov kub tsis ua haujlwm, qhov teeb meem yuav tsis tsuas yog cuam tshuam rau ib yam khoom xwb tab sis kuj tseem tuaj yeem ua rau tag nrho cov khoom tsim tawm tsis lees txais. Yog li ntawd, cov tshuab ua kom txias semiconductor laser yuav tsum tsis txhob tsuas yog muab lub peev xwm txias txaus, tab sis kuj tseem yuav tsum tswj qhov kub kom raug, hloov pauv tsawg kawg nkaus, thiab ruaj khov rau kev ua haujlwm ntev. Qhov no ua rau muaj kev xav tau ntau dua rau kev tsim qauv, kev tswj hwm, thiab kev sib koom ua ke ntawm cov tshuab ua kom txias laser hauv kev lag luam.
Cov Ntawv Thov Tseem Ceeb ntawm Cov Tshuab Txias Laser hauv Kev Lag Luam Semiconductor
1. Wafer Laser Dicing
Thaum lub sijhawm txiav cov wafer, UV thiab cov tshuab laser ntsuab muaj kev cuam tshuam loj heev rau qhov kub thiab txias hloov pauv. Lub qhov laser, cov khoom siv fais fab, thiab cov tshuab optical tsim cua sov tas li. Yog tias cua sov tsis txaus lossis qhov kub ntawm cov dej txias laser hloov pauv ntau dhau, cov teebmeem thermal lensing yuav tshwm sim, cuam tshuam tsis zoo rau qhov zoo ntawm lub teeb thiab kev ua tiav ntawm cov khoom siv niaj hnub.
Los ntawm lub kaw-voj qhov kub thiab txias tas li, cov laser chillers tswj cov dej kub hauv qhov ntau yam kev kam rau siab nqaim heev, ua kom ntseeg tau tias qhov zoo ntawm kev txiav semiconductor sib xws.
2. Kev Cim Laser thiab Kev Ua Haujlwm Microstructure
Hauv kev cim chip tom qab ntim khoom thiab kev ua cov qhov me me, qhov ruaj khov ntawm qhov chaw txiav txim siab ncaj qha rau qhov zoo ntawm kev ua haujlwm. Kev hloov pauv kub hauv lub tshuab cua txias laser tuaj yeem cuam tshuam rau lub zog tso zis laser thiab qhov chaw tsom mus rau qhov chaw, ua rau muaj kev tsis sib xws hauv qhov tob ntawm kev ua thiab qhov tseeb ntawm cov qauv.
Cov tshuab cua txias ua haujlwm siab rau cov lasers tsim kom muaj qhov chaw sov so uas ua kom zoo thiab rov ua dua hauv kev tsim khoom semiconductor.
3. Kev Siv Laser Annealing
Kev siv laser annealing yog siv los txhim kho cov khoom siv hluav taws xob thiab cov qauv siv lead ua. Cov txheej txheem no xav tau kev cua sov hauv zos uas muaj zog heev hauv lub sijhawm luv luv thaum tswj hwm qhov ntau ntawm cov cua sov.
Hauv cov ntawv thov zoo li no, cov tshuab cua txias laser rau cov khoom siv ua semiconductor yuav tsum tsis yog tsuas yog muab lub peev xwm pauv cua sov muaj zog xwb, tab sis kuj tseem xa cov lus teb sai thiab kev ua haujlwm ruaj khov tas mus li los txhawb cov voj voog tsim khoom ceev.
4. Kev Tshuaj Xyuas Qhov Muag thiab Kev Ntsuas Qhov Tseeb
Cov txheej txheem tshuaj xyuas semiconductor thiab cov platform optical precision kuj tseem vam khom rau kev tswj qhov kub thiab txias ruaj khov. Thermal drift tuaj yeem khaws cov kev ntsuas yuam kev thiab txo qhov tseeb ntawm kev tshuaj xyuas. Kev siv cov precision laser chillers hauv cov txheej txheem pabcuam no ntxiv qhia txog lawv lub luag haujlwm tseem ceeb thoob plaws tag nrho cov kab ntau lawm semiconductor.
Cov Kev Cai Txuj Ci rau Laser Chillers hauv Semiconductor Applications
Piv nrog rau cov kev siv hauv kev lag luam ib txwm muaj, kev tsim khoom semiconductor yuam kom muaj cov kev cai nruj dua rau cov tshuab cua txias laser hauv kev lag luam:
* Kev tswj qhov kub thiab txias siab, nrog rau qee qhov kev siv xav tau ± 0.1 ° C qhov tseeb lossis zoo dua
* Kev tsim qauv qis-kev co kom tsis txhob cuam tshuam nrog cov tshuab kho qhov muag precision
* Cov txheej txheem dej ntshiab siab rau kev ruaj khov laser mus sij hawm ntev
* Kev sib txuas lus ntse rau kev sib koom ua ke thiab kev saib xyuas chaw taws teeb
* Kev ua haujlwm tas mus li 24/7 txhim khu kev qha
Qhov ruaj khov ntawm lub tshuab cua txias semiconductor cuam tshuam ncaj qha rau kev siv cov khoom siv thiab cov txiaj ntsig ntawm kev tsim khoom.
TEYU Laser Chillers: Cov txiaj ntsig hauv kev tswj qhov kub thiab txias kom raug
Hauv cov ntawv thov laser siab, TEYU CWUP Series cov tshuab txias uas raug tau txais kev pom zoo dav dav hauv kev ua cov laser precision thiab cov khoom siv semiconductor, ua tsaug rau ntau xyoo ntawm kev tswj qhov kub thiab txias hauv kev tsim khoom laser chiller.
Cov txiaj ntsig tseem ceeb ntawm TEYU Laser Chillers:
* Kev ruaj khov kub heev: lub tshuab cua txias laser ceev ceev CWUP-20ANP muaj kev ruaj khov ntawm qhov kub txog li ± 0.08 ° C. Nws lub tank dej ob lub qauv tsim txhim kho kev sib pauv cua sov thiab ua kom muaj kev ua haujlwm laser ultrafast ruaj khov.
* Kev sib txuas lus ntse: Txhawb RS-485 Modbus protocol rau kev saib xyuas ntse thiab kev sib koom ua ke hauv cov tshuab cua txias.
* Ntau yam kev tiv thaiv thiab kev sib xws: Kev sib xws ntawm ntau lub teb chaws fais fab, kev tiv thaiv lub tswb ceeb toom, cov tub yees zoo rau ib puag ncig, nrog rau cov cua sov xaiv tau thiab cov tshuab lim dej rau kev siv laser txias.
* Kev ntseeg tau thiab ua tau ntev: Tau ntawv pov thawj rau ISO9001, CE, RoHS, thiab REACH cov qauv, txhawb kev ua haujlwm mus sij hawm ntev hauv chav huv si ua qhov kev daws teeb meem chiller txhim khu kev qha.
Los ntawm kev tswj qhov kub thiab txias zoo, TEYU lub tshuab cua txias laser muab kev tswj cua sov ruaj khov rau cov khoom siv semiconductor laser, pab cov chaw tsim khoom txhim kho kev ua haujlwm sib xws thaum txo cov kev pheej hmoo ntawm lub sijhawm tsis ua haujlwm.
Xaus lus
Hauv kev tsim khoom siv semiconductor, txawm tias qhov kub sib txawv ib degree tuaj yeem cuam tshuam rau qhov tsim tawm zaum kawg. Txawm hais tias cov tshuab ua kom txias laser (cov tshuab ua kom txias rau cov tshuab laser) tsis koom nrog kev ua tiav, lawv ua haujlwm tas li tom qab qhov xwm txheej, tiv thaiv qhov ciam teb kub ruaj khov uas kev tsim khoom siv semiconductor niaj hnub no vam khom.
Peb nyob ntawm no rau koj thaum koj xav tau peb.
Thov ua kom tiav daim foos tiv tauj peb, thiab peb yuav zoo siab los pab koj.