반도체 제조에서 정밀한 온도 제어는 열 응력을 방지하고 공정 안정성을 높이며 칩 성능을 향상시키는 데 필수적입니다. 고정밀 칠러는 균열이나 박리와 같은 결함을 줄이고, 균일한 도핑을 보장하며, 산화막 두께를 일정하게 유지하는 데 도움을 줍니다. 이는 수율과 신뢰성 향상의 핵심 요소입니다.
Copyright © 2025 TEYU S&A Chiller - 모든 권리 보유.