E taua tele le sao o masini fa'amālūlūina laser i le gaosiga o semiconductor e ala i le fa'amautinoaina o le pulea sa'o o le vevela mo le tipiina o le wafer, fa'ailogaina o le laser, fa'amafanafana, ma le siakiina. Aoao pe fa'apefea ona fa'aleleia e masini fa'amālūlūina alamanuia sa'o le mautu, sa'o, ma le fua o le gaosiga.
Ia iloa pe fa'apefea ona lagolagoina e masini fa'amālūlū sa'o le gaosiga o semiconductor fa'atasi ai ma le mautu o le vevela e ±0.1°C, pulega lelei o le avega o le vevela, ma le fa'amālūlūina fa'atuatuaina o le fa'agasologa o le wafer mo le etching, deposition, ma le lithography systems.