Коркарди оптикии ултра дақиқ ва нақши муҳими чиллерҳои дақиқ

Коркарди оптикии ултра дақиқ барои истеҳсоли ҷузъҳои баландсифат барои смартфонҳо, системаҳои аэрокосмосӣ, нимноқилҳо ва дастгоҳҳои пешрафтаи тасвирӣ асосист. Вақте ки истеҳсолот ба дақиқии сатҳи нанометрӣ тела медиҳад, назорати ҳарорат омили муҳими таъмини устуворӣ ва такроршавандагӣ мегардад. Ин мақола шарҳи коркарди ултра дақиқи оптикӣ, тамоюлҳои бозории он, таҷҳизоти маъмулӣ ва аҳамияти афзояндаи хунуккунакҳои дақиқро дар нигоҳ доштани дақиқии коркард пешниҳод мекунад.

1. Механизми оптикии ултра дақиқ чист?
Коркарди оптикии ултрадақиқ як раванди пешрафтаи истеҳсолӣ мебошад, ки асбобҳои ултра дақиқ, системаҳои андозагирии дақиқ ва назорати қатъии муҳити зистро муттаҳид мекунад. Ҳадафи он ноил шудан ба дақиқии шакли зер-микрометрӣ ва ноҳамвории сатҳи нанометрӣ ё суб-нанометрӣ мебошад. Ин технология дар истеҳсоли оптикӣ, муҳандисии кайҳонӣ, коркарди нимноқилҳо ва асбобҳои дақиқ ба таври васеъ истифода мешавад.

Нишондиҳандаҳои саноат
* Дурустии шакл: ≤ 0,1 мкм
* Ноҳамвории рӯизаминӣ (Ra/Rq): Сатҳи нанометр ё суб-нанометр

2. Шарҳи бозор ва дурнамои рушд
Мувофиқи маълумоти YH Research, бозори ҷаҳонии системаҳои коркарди ултра дақиқ дар соли 2023 ба 2,094 миллиард юан расид ва интизор меравад, ки то соли 2029 то 2,873 миллиард юан афзоиш ёбад.
Дар доираи ин бозор, таҷҳизоти коркарди оптикии ултра дақиқ дар соли 2024 ба 880 миллион RMB арзиш дошт ва пешгӯиҳо то соли 2031 ба 1,17 миллиард RMB ва 4,2% CAGR (2025–2031) мерасад.

Тамоюлҳои минтақавӣ
* Амрикои Шимолӣ: Бозори калонтарин, ки 36% ҳиссаи ҷаҳонро ташкил медиҳад
* Аврупо: Пештар ҳукмфармо буд, ҳоло тадриҷан тағйир меёбад
* Осиё ва ҳавзаи уқёнуси Ором: аз ҳисоби қобилиятҳои қавии истеҳсолӣ ва қабули технология босуръат афзоиш меёбад

3. Таҷҳизоти аслӣ, ки дар коркарди оптикии ултра дақиқ истифода мешаванд
Коркарди ултра дақиқ ба як занҷири хеле ҳамгирошудаи раванд такя мекунад. Ҳар як намуди таҷҳизот ба дақиқии тадриҷан баландтар дар шакл додан ва анҷом додани ҷузъҳои оптикӣ мусоидат мекунад.

(1) Гардиши алмоси ултра дақиқи як нуқта (SPDT)
Функсия: Асбоби табиии алмосии яккристаллро барои коркарди металлҳои тағйирпазир (Al, Cu) ва маводи инфрасурх (Ge, ZnS, CaF₂) истифода мебарад, ки дар як гузариш шаклдиҳии рӯизаминӣ ва коркарди сохторро анҷом медиҳад.

Хусусиятҳои асосӣ
* Шпиндели ҳавоӣ ва драйвҳои мотории хатӣ
* Ра 3–5 нм ва дақиқии шакл <0,1 мкм мерасад
* Ҳассосияти баланд ба ҳарорати муҳити зист
* Барои устувор кардани шпиндель ва геометрияи мошин назорати дақиқи хунуккуниро талаб мекунад

(2) Системаи Магнитореологии Финиш (MRF).
Функсия: Моеъи аз майдони магнитӣ идорашавандаро барои анҷом додани сайқалдиҳии сатҳи маҳаллӣ дар сатҳи нанометрӣ барои сатҳҳои оптикии асферӣ, озод ва дақиқи баланд истифода мебарад.

Хусусиятҳои асосӣ
* Сатҳи бартарафсозии мавод ба таври хаттӣ танзимшаванда
* Ба дақиқии шакл то λ/20 мерасад
* Ҳеҷ харошидан ё осеби зеризаминӣ нест
* Дар шпиндель ва печҳои магнитӣ гармӣ тавлид мекунад, ки сардшавии устуворро талаб мекунад

(3) Системаҳои андозагирии сатҳи интерферометрӣ
Функсия: Андозаҳо инҳироф ва дақиқии мавҷҳои линзаҳо, оинаҳо ва оптикаи озодро ташкил медиҳанд.

Хусусиятҳои асосӣ
* Ҳалли мавҷҳо то λ/50
* Таҷдиди худкор ва таҳлили рӯизаминӣ
* Андозагирии хеле такроршаванда, бидуни тамос
* Қисмҳои дохилии ба ҳарорат ҳассос (масалан, лазерҳои He-Ne, сенсорҳои CCD)

4. Чаро хунуккунакҳои обӣ барои коркарди оптикии ултра дақиқ муҳиманд
Коркарди ултра дақиқ ба тағирёбии ҳарорат хеле ҳассос аст. Гармие, ки тавассути муҳаррикҳои шпиндель, системаҳои сайқалдиҳӣ ва асбобҳои ченкунии оптикӣ тавлид мешавад, метавонад деформатсияи сохтор ё васеъшавии маводро ба вуҷуд орад. Ҳатто тағирёбии ҳарорати 0,1°С метавонад ба дурустии коркард таъсир расонад.
Чиллерҳои дақиқ ҳарорати хунуккуниро мӯътадил мегардонанд, гармии зиёдатиро хориҷ мекунанд ва ҳаракати гармиро пешгирӣ мекунанд. Бо устувории ҳарорат аз ± 0,1 ° C ё беҳтар, хунуккунакҳои дақиқ иҷрои доимии субмикрон ва нанометрро дар амалиёти коркард, сайқал додан ва андозагирӣ дастгирӣ мекунанд.

5. Интихоби хунуккунак барои таҷҳизоти оптикии ултра дақиқ: Шаш талаботи асосӣ
Мошинҳои оптикии баландсифат бештар аз агрегатҳои хунуккунии стандартиро талаб мекунанд. Чиллерҳои дақиқи онҳо бояд назорати боэътимоди ҳарорат, гардиши тоза ва ҳамгироии интеллектуалии системаро таъмин кунанд. Силсилаи TEYU CWUP ва RMUP барои ин замимаҳои пешрафта тарҳрезӣ шуда, қобилиятҳои зеринро пешниҳод мекунанд:

(1) Назорати ҳарорати ултра устувор
Устувории ҳарорат аз ±0,1°C то ±0,08°C буда, барои нигоҳ доштани дақиқ дар шпиндельҳо, оптика ва ҷузъҳои сохторӣ кӯмак мекунад.

(2) Танзими интеллектуалии PID
Алгоритмҳои PID ба тағирёбии сарбории гармӣ зуд вокуниш нишон дода, аз ҳад зиёдро кам мекунанд ва кори мӯътадилро нигоҳ медоранд.

(3) Муомилоти тоза, ба зангзанӣ тобовар
Моделҳо ба монанди RMUP-500TNP дорои филтратсияи 5 мкм барои кам кардани ифлосиҳо, муҳофизат кардани модулҳои оптикӣ ва пешгирии ҷамъшавии миқёс мебошанд.

(4) Иҷрои насоси пурқувват
Насосҳои баландбардор ҷараёни мӯътадил ва фишорро барои ҷузъҳо ба монанди роҳнамо, оинаҳо ва шпиндельҳои баландсуръат таъмин мекунанд.

(5) Пайвастшавӣ ва муҳофизати интеллектуалӣ
Дастгирии RS-485 Modbus имкон медиҳад, ки дар вақти воқеӣ назорат ва назорати дурдаст. Ҳушдорҳои бисёрсатҳӣ ва худидоракунии ташхис бехатарии амалиётиро беҳтар мекунанд.

(6) яхдонҳои аз ҷиҳати экологӣ тоза ва мутобиқати сертификатсияшуда
Чиллерҳо яхдонҳои пасти GWP-ро истифода мебаранд, аз ҷумла R-1234yf, R-513A ва R-32, ки ба талаботи Иттиҳоди Аврупо F-Gas ва EPA SNAP ҷавобгӯ мебошанд.
Ба стандартҳои CE, RoHS ва REACH сертификатсия шудааст.

Хулоса
Вақте ки коркарди оптикии ултрадақиқ ба сӯи дақиқии баландтар ва таҳаммулпазирии сахттар пеш меравад, назорати дақиқи гармӣ ҳатмӣ шудааст. Чиллерҳои дақиқи баланд дар рафъи ҷараёнҳои гармӣ, беҳтар кардани устувории система ва дастгирии кори таҷҳизоти пешрафтаи коркард, сайқал додан ва ченкунӣ нақши муҳим мебозанд. Интизор меравад, ки ҳамгироии технологияҳои хунуккунии интеллектуалӣ ва истеҳсоли ултра дақиқ барои қонеъ кардани талаботи истеҳсолоти оптикии насли оянда якҷоя инкишоф ёбад.