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Kev siv cryogenic etching ua rau muaj kev ua haujlwm siab, muaj qhov sib piv siab ntawm micro- thiab nano-fabrication los ntawm kev tswj qhov kub tob. Kawm paub txog kev tswj cua sov ruaj khov txhawb nqa semiconductor, photonic, thiab MEMS processing li cas.