半導体製造において、熱ストレスの防止、プロセス安定性の向上、そしてチップ性能の向上には、精密な温度制御が不可欠です。高精度チラーは、ひび割れや剥離などの欠陥の低減、均一なドーピングの確保、そして酸化層の厚さの均一化に貢献します。これらは、歩留まりと信頼性の向上に大きく貢献します。
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