2002年以来、レーザーシステムと産業用アプリケーション向けの精密温度制御
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真空コーティング装置は、膜品質と装置の安定性を確保するために、精密な温度制御を必要とします。産業用チラーは、スパッタリングターゲットや真空ポンプなどの主要部品を効率的に冷却することで重要な役割を果たします。この冷却サポートは、プロセスの信頼性を高め、装置の寿命を延ばし、生産効率を向上させます。
真空コーティング装置は、高真空環境下で蒸着またはスパッタリングにより基板上に薄膜を堆積します。プロセスは、まず真空ポンプでチャンバー内の空気を除去し、ガス干渉を回避します。次に、基板のクリーニングを行い、密着性を高めます。次に、材料を基板上に蒸着またはスパッタリングし、アニールなどの最終処理を施すことで、膜の性能をさらに向上させます。
真空コーティング機の用途
真空コーティング技術は、電子機器、光学機器、自動車、医療など、幅広い業界で活用されています。電子機器分野では、半導体やディスプレイパネルの製造を支え、導電性と絶縁性を向上させています。光学分野では、反射防止膜や反射膜などのコーティングによってレンズの性能が向上します。自動車分野では、クロムコーティングによって耐腐食性と美観の両方が向上します。医療分野では、抗菌コーティングによって手術器具の衛生状態と寿命が確保されます。
真空コーティング機に産業用チラーが不可欠な理由
真空コーティングプロセスでは、正確な温度制御が不可欠です。スパッタリングターゲット、基板ホルダー、真空ポンプなどの部品は、かなりの熱を発生します。適切な冷却が行われないと、ターゲットが変形したり侵食されたりし、スパッタリング速度と膜品質が低下します。基板温度が過度に高くなると、熱応力が生じ、膜の密着性が低下し、コーティングの均一性にも影響を及ぼします。 産業用チラーは、循環水システムを通じて安定的かつ効率的な冷却を提供し、一定の動作温度を確保します。これにより、プロセス品質が確保されるだけでなく、連続生産が可能になり、ダウンタイムが短縮され、メンテナンスコストが削減され、機器寿命が延長されます。
高性能な表面処理には、産業用チラーと真空コーティング機の統合が不可欠です。これにより、メーカーは精度、信頼性、効率性を実現し、高度な製造業の高まる需要に応えることができます。TEYU CWシリーズ産業用チラーは、精密な温度制御と効率的な冷却を実現し、600Wから42kWまでの冷却能力を0.3℃から1℃の精度で提供し、真空コーティング機の安定した稼働を保証します。
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TEYU S&A Chiller は 23 年のチラー製造経験を持ち、2002 年に設立されました。現在では、冷却技術の先駆者であり、レーザー業界の信頼できるパートナーとして認められています。
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