Khi kích thước bán dẫn ngày càng nhỏ, kỹ thuật sản xuất mạch tích hợp trở nên ngày càng phức tạp, đòi hỏi hàng trăm hoặc hàng nghìn công đoạn. Và trải qua mỗi công đoạn, bán dẫn chắc chắn sẽ bị bao phủ bởi ít nhiều các chất gây ô nhiễm dạng hạt, cặn kim loại hoặc cặn hữu cơ. Những hạt và cặn này có khả năng hấp thụ mạnh mẽ với nền vật liệu bán dẫn. Việc loại bỏ những hạt và cặn này là một thách thức lớn đối với các phương pháp truyền thống như làm sạch bằng hóa chất, làm sạch cơ học và làm sạch bằng sóng siêu âm. Nhưng với phương pháp làm sạch bằng laser, điều đó lại rất dễ dàng.
Làm sạch bằng laser có nhiều ưu điểm mà các phương pháp làm sạch truyền thống không có, điều này khiến nó trở thành giải pháp làm sạch lý tưởng cho ngành bán dẫn.
1. Làm sạch bằng laser không tiếp xúc và có thể dễ dàng tích hợp với cánh tay robot để thực hiện làm sạch ở khoảng cách xa, tiếp cận được những vị trí khó tiếp cận bằng các phương pháp làm sạch truyền thống;
2. Máy làm sạch bằng laser có thể hoạt động ổn định trong thời gian dài mà không cần bất kỳ vật tư tiêu hao nào. Do đó, chi phí vận hành và bảo trì khá thấp. Chỉ cần đầu tư một lần có thể đảm bảo sử dụng được nhiều lần;
3. Máy làm sạch bằng laser có thể xử lý nhiều loại chất gây ô nhiễm khác nhau trên bề mặt vật liệu và đạt được độ sạch cao. Hơn nữa, nó không tạo ra bất kỳ chất thải nào trong quá trình hoạt động, vì vậy đây là một công nghệ làm sạch thân thiện với môi trường.Giống như nhiều thiết bị laser khác, máy làm sạch laser được cấp nguồn bởi một số loại nguồn laser nhất định. Và các nguồn laser phổ biến cho máy làm sạch laser là laser CO2 và laser sợi quang. Và để tránh quá nhiệt, máy làm sạch laser thường được trang bị bộ làm lạnh nước công nghiệp. Bộ làm lạnh nước laser S&A Teyu phù hợp để làm mát laser CO2 và laser sợi quang với các công suất khác nhau. Bộ làm lạnh dòng CW rất phổ biến trong việc làm mát ống laser CO2 thủy tinh và ống laser CO2 kim loại với độ ổn định nhiệt độ từ ±1℃ đến ±0,1℃. Bộ làm lạnh dòng CWFL lý tưởng để làm mát laser sợi quang từ 500W đến 20000W và có sẵn ở dạng thiết bị độc lập và thiết bị gắn trên giá đỡ. Nếu bạn không chắc chắn nên chọn bộ làm lạnh nước laser nào, bạn có thể gửi email đến...marketing@teyu.com.cn và các đồng nghiệp của chúng tôi sẽ trả lời bạn sớm.
