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激光清洗在半导体中的应用

激光清洗具有许多传统清洗方法所不具备的优势,使其成为半导体清洗的理想解决方案

激光清洗在半导体中的应用 1

随着半导体越来越小,集成电路制造工艺越来越复杂,需要几百、几千道工序。 而半导体在经过每一道工序时,不可避免地会沾染上或多或少的颗粒污染物、金属残留物或有机物残留物。 而这些颗粒和残留物以半导体基材为基础,具有很强的吸收能力。 对于化学清洗、机械清洗和超声波清洗等传统方法来说,去除这些颗粒和残留物是一个巨大的挑战。 但对于激光清洗来说,它非常好而且容易 

激光清洗具有许多传统清洗方法所不具备的优点,是半导体清洗的理想解决方案, 

优势:

1.激光清洗属于非接触式清洗,可轻松与机械臂集成,进行远距离清洗,达到传统清洗方式难以触及的点;

2.激光清洗机可长期稳定工作,无需任何耗材。 因此其运行和维护成本相当低。 一次投资可保证多次使用;

3.激光清洗机可以处理材料表面各种污染物,达到较高的清洁度。 而且它在运行过程中不会产生任何废物,因此它是一种绿色清洁技术。

与许多其他激光设备一样,激光清洗机由某些类型的激光源供电。 而激光清洗机常见的激光源有CO2激光器和光纤激光器。 并且为了避免过热,激光清洗机通常会配备工业冷水机。 S&Teyu激光冷水机适用于冷却不同功率的CO2激光器和光纤激光器。 CW系列冷水机在冷却CO2玻璃激光管和CO2金属激光管方面非常受欢迎,其温度稳定性范围为 ±1℃ 至 ±0.1℃. CWFL 系列冷水机非常适合冷却 500W 至 20000W 的光纤激光器,有独立式和机架式两种形式。 如果您不确定选择哪款激光水冷机,您可以发送电子邮件至 marketing@teyu.com.cn 我们的同事将很快回复您 

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