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Laserreinigungsanwendung in der Halbleiterindustrie

Die Laserreinigung bietet gegenüber herkömmlichen Reinigungsmethoden zahlreiche Vorteile und ist daher die ideale Reinigungslösung für Halbleiter.

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Da Halbleiter immer kleiner werden, wird die Herstellung integrierter Schaltkreise immer komplexer und erfordert mehrere Hundert oder Tausend Arbeitsschritte. Bei jedem Arbeitsschritt wird der Halbleiter zwangsläufig mit mehr oder weniger Partikelschadstoffen, Metallrückständen oder organischen Rückständen bedeckt. Diese Partikel und Rückstände haben eine starke Absorptionskraft gegenüber den Halbleitermaterialien. Die Entfernung dieser Partikel und Rückstände ist mit herkömmlichen Methoden wie chemischer, mechanischer und Ultraschallreinigung eine große Herausforderung. Mit der Laserreinigung ist sie jedoch sehr einfach zu entfernen.

Die Laserreinigung bietet gegenüber herkömmlichen Reinigungsmethoden zahlreiche Vorteile und ist daher die ideale Reinigungslösung für Halbleiter.

Vorteile:

1. Die Laserreinigung erfolgt berührungslos und kann problemlos in einen Roboterarm integriert werden, um eine Reinigung über große Entfernungen durchzuführen und so auch Stellen zu erreichen, die mit herkömmlichen Reinigungsmethoden nur schwer zu erreichen sind.

2. Die Laserreinigungsmaschine kann über einen langen Zeitraum ohne Verbrauchsmaterialien stabil arbeiten. Daher sind die Betriebs- und Wartungskosten recht niedrig. Eine einmalige Investition kann eine Mehrfachnutzung gewährleisten.

3. Die Laserreinigungsmaschine kann mit verschiedenen Arten von Schadstoffen auf der Materialoberfläche umgehen und ein hohes Maß an Sauberkeit erzielen. Außerdem entsteht während des Betriebs kein Abfall, sodass es sich um eine umweltfreundliche Reinigungstechnologie handelt.

Wie viele andere Lasergeräte werden auch Laserreinigungsmaschinen von bestimmten Laserquellen angetrieben. Die gängigen Laserquellen für Laserreinigungsmaschinen sind CO2-Laser und Faserlaser. Um Überhitzung zu vermeiden, werden Laserreinigungsmaschinen oft mit einem Industriewasserkühler Kühler geliefert. S&A Teyu Laserwasserkühler eignen sich zur Kühlung von CO2-Lasern und Faserlasern unterschiedlicher Leistung. Die Kühler der CW-Serie sind sehr beliebt zur Kühlung von CO2-Glaslaserröhren und CO2-Metalllaserröhren mit einer Temperaturstabilität von ±1 °C bis ±0,1 °C. Die Kühler der CWFL-Serie eignen sich ideal zur Kühlung von Faserlasern von 500 W bis 20.000 W und sind als Stand-alone-Geräte und Rack-Geräte erhältlich. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welchen Laserwasserkühler Kühler Sie wählen sollen, senden Sie einfach eine E-Mail anmarketing@teyu.com.cn und unsere Kollegen werden Ihnen bald antworten.

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