По мере того как полупроводники становятся все меньше и меньше, технология изготовления интегральных схем становится все более сложной и требует нескольких сотен или тысяч процедур. И в ходе каждой процедуры полупроводник неизбежно покрывается большим или меньшим количеством загрязняющих частиц, остатков металла или органических веществ. И эти частицы и остатки обладают сильной поглощающей способностью по отношению к основе полупроводниковых материалов. Удаление этих частиц и остатков представляет собой серьезную проблему для традиционных методов, таких как химическая очистка, механическая очистка и ультразвуковая очистка. Но для лазерной очистки это’очень приятно и просто
Лазерная очистка имеет множество преимуществ, которых нет у традиционных методов очистки, что делает ее идеальным решением для очистки полупроводников.
Преимущества:
1. Лазерная очистка является бесконтактной и может легко интегрироваться с роботизированной рукой для выполнения очистки на больших расстояниях, достигая мест, которые труднодоступны при использовании традиционных методов очистки;
2. Лазерный очиститель может стабильно работать в течение длительного периода времени без каких-либо расходных материалов. Поэтому расходы на его эксплуатацию и техническое обслуживание довольно низкие. Единожды вложенные инвестиции могут обеспечить многократное использование;
3. Лазерная очистная машина способна справляться с различными видами загрязнений на поверхности материала и обеспечивать высокую степень чистоты. Кроме того, во время работы не образуется никаких отходов, поэтому это экологически чистая технология очистки.
Как и многое другое лазерное оборудование, лазерная очистная машина работает от определенных видов лазерных источников. Обычными источниками лазерного излучения для лазерной очистки являются CO2-лазер и волоконный лазер. А чтобы избежать перегрева, лазерная очистная машина часто комплектуется промышленным охладителем воды. S&Лазерные водяные охладители Teyu подходят для охлаждения CO2-лазеров и волоконных лазеров различной мощности. Чиллеры серии CW очень популярны для охлаждения стеклянных лазерных трубок CO2 и металлических лазерных трубок CO2 с температурной стабильностью в диапазоне от ±1℃ к ±0.1℃. Чиллеры серии CWFL идеально подходят для охлаждения волоконных лазеров мощностью от 500 Вт до 20 000 Вт и доступны в виде автономных устройств и стоечных модулей. Если вы не уверены, какой лазерный охладитель воды выбрать, вы можете просто написать нам по электронной почте marketing@teyu.com.cn и наши коллеги ответят вам в ближайшее время
