Ultra dəqiq optik emal yüksək səviyyəli istehsalda submikrondan nanometrə qədər dəqiqliyə imkan verir və bu performansı qorumaq üçün sabit temperatur nəzarəti vacibdir. Dəqiq soyuducular emal, cilalama və yoxlama avadanlığının ardıcıl və etibarlı işləməsi üçün tələb olunan istilik sabitliyini təmin edir.