Ultra dəqiqlikli optik emal yüksək səviyyəli istehsalda mikronaltıdan nanometrə qədər dəqiqliyə imkan verir və bu performansı qorumaq üçün sabit temperatur nəzarəti vacibdir. Həssas soyuducular emal, cilalama və yoxlama avadanlığının ardıcıl və etibarlı işləməsi üçün tələb olunan istilik sabitliyini təmin edir.