Makîneya optîkî ya pir-rast di çêkirina asta bilind de rastbûna ji bin mîkron heta nanometre gengaz dike, û kontrola germahiyê ya stabîl ji bo parastina vê performansê girîng e. Sarincên rast aramiya germî ya ku ji bo makînekirin, cilkirin û alavên vekolînê hewce dike peyda dikin da ku bi domdarî û pêbawer bixebitin.