Itin tikslus optinis apdirbimas leidžia pasiekti submikrono ar nanometro tikslumą aukščiausios klasės gamyboje, o norint išlaikyti šį našumą, būtina stabili temperatūros kontrolė. Tikslūs aušintuvai užtikrina terminį stabilumą, reikalingą apdirbimo, poliravimo ir tikrinimo įrangai veikti nuosekliai ir patikimai.