Ultra hassas optik işleme, üst düzey üretimde mikron altı ila nanometre hassasiyetinde üretim sağlar ve bu performansın korunması için istikrarlı sıcaklık kontrolü şarttır. Hassas soğutucular, işleme, parlatma ve muayene ekipmanlarının tutarlı ve güvenilir bir şekilde çalışması için gereken termal kararlılığı sağlar.