03-19
Iṣẹ́ ẹ̀rọ ìṣàfihàn ojú tí ó péye jùlọ ń jẹ́ kí ìṣe déédé sub-micron sí nanometer nínú iṣẹ́ ọnà gíga, àti pé ìṣàkóso ìwọ̀n otútù tí ó dúró ṣinṣin ṣe pàtàkì láti máa ṣe iṣẹ́ yìí. Àwọn ohun èlò ìtútù tí ó péye ń pèsè ìdúró gbóná tí a nílò fún ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́, dídán, àti àyẹ̀wò láti ṣiṣẹ́ déédéé àti ní ìgbẹ́kẹ̀lé.