Mit der zunehmenden Miniaturisierung von Halbleitern wird die Herstellung integrierter Schaltkreise immer komplexer und erfordert Hunderte oder Tausende von Arbeitsschritten. Bei jedem dieser Schritte werden die Halbleiter unweigerlich mit mehr oder weniger Partikelverunreinigungen, Metallrückständen oder organischen Resten bedeckt. Diese Partikel und Rückstände haften stark an den Basismaterialien der Halbleiter. Ihre Entfernung stellt eine große Herausforderung für traditionelle Methoden wie chemische, mechanische und Ultraschallreinigung dar. Die Laserreinigung hingegen ist deutlich einfacher und effektiver.
Die Laserreinigung bietet viele Vorteile gegenüber herkömmlichen Reinigungsmethoden und ist daher die ideale Reinigungslösung für Halbleiter.
1. Die Laserreinigung ist berührungslos und lässt sich problemlos in einen Roboterarm integrieren, um auch über größere Entfernungen zu reinigen und Stellen zu erreichen, die mit herkömmlichen Reinigungsmethoden schwer zugänglich sind.
2. Laserreinigungsmaschinen arbeiten über einen langen Zeitraum stabil und ohne Verbrauchsmaterialien. Daher sind ihre Betriebs- und Wartungskosten sehr gering. Eine einmalige Investition sichert eine mehrmalige Nutzung.
3. Laserreinigungsmaschinen können verschiedene Arten von Verschmutzungen auf Materialoberflächen entfernen und einen hohen Reinheitsgrad erzielen. Da sie zudem während des Betriebs keine Abfälle produzieren, handelt es sich um eine umweltfreundliche Reinigungstechnologie.Wie viele andere Lasergeräte wird auch eine Laserreinigungsmaschine mit bestimmten Laserquellen betrieben. Gängige Laserquellen sind CO₂-Laser und Faserlaser. Um eine Überhitzung zu vermeiden, ist die Laserreinigungsmaschine häufig mit einem Industriewasserkühler ausgestattet. Die Laserwasserkühler von S&A Teyu eignen sich zur Kühlung von CO₂-Lasern und Faserlasern unterschiedlicher Leistung. Die Kühler der CW-Serie sind besonders beliebt für die Kühlung von CO₂-Glaslaserröhren und CO₂-Metalllaserröhren und weisen eine Temperaturstabilität von ±1 °C bis ±0,1 °C auf. Die Kühler der CWFL-Serie sind ideal für die Kühlung von Faserlasern von 500 W bis 20.000 W und sind als Stand- und Rack-Geräte erhältlich. Wenn Sie sich nicht sicher sind, welcher Laserwasserkühler für Sie der richtige ist, kontaktieren Sie uns einfach per E-Mail.marketing@teyu.com.cn Unsere Kollegen werden Ihnen in Kürze antworten.
