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반도체의 레이저 세정 응용

레이저 클리닝은 기존의 클리닝 방법에는 없는 많은 장점이 있어 반도체에 이상적인 클리닝 솔루션입니다.

반도체가 소형화됨에 따라 집적회로 제조 기술은 점점 더 복잡해지고 수백 또는 수천 개의 절차가 필요합니다. 그리고 모든 과정을 거치면서 반도체는 필연적으로 어느 정도의 입자 오염 물질, 금속 잔류물 또는 유기물 잔류물로 뒤덮일 수밖에 없습니다. 그리고 이러한 입자와 잔류물은 반도체 모재를 기반으로 하여 강력한 흡수력을 가지고 있습니다. 이러한 입자와 잔류물을 제거하는 것은 화학적 세척, 기계적 세척 및 초음파 세척과 같은 기존 방법의 경우 큰 도전입니다. 하지만 레이저 클리닝의 경우’아주 좋고 쉽습니다. 


레이저 클리닝에는 기존의 클리닝 방법이 할 수 없는 많은 장점이 있습니다.’가지고 있어 반도체에 이상적인 세정 솔루션입니다. 

장점:


1. 레이저 청소는 비접촉식이며 로봇 팔과 쉽게 통합되어 장거리 청소를 수행하여 기존의 청소 방법으로 도달하기 어려운 부분에 도달할 수 있습니다.


2. 레이저 청소기는 소모품 없이 장기간 안정적으로 작동할 수 있습니다. 따라서 운영 및 유지 보수 비용이 상당히 저렴합니다. 일단 투자는 다중 사용을 보장할 수 있습니다.


3.Laser 청소 기계는 물질 표면의 다양한 종류의 오염 물질을 처리하고 높은 수준의 청정도를 실현할 수 있습니다. 게다가 이겼다.’t 작업 중 폐기물이 발생하지 않으므로 친환경 청소 기술입니다.

다른 많은 레이저 장비와 마찬가지로 레이저 청소 기계는 특정 종류의 레이저 소스로 구동됩니다. 그리고 레이저 클리닝 기계의 일반적인 레이저 소스는 CO2 레이저와 파이버 레이저입니다. 그리고 과열을 피하기 위해 레이저 청소 기계에는 종종 산업용 냉각수 냉각기가 함께 제공됩니다. S&A Teyu 레이저 냉각기는 CO2 레이저 및 다양한 출력의 파이버 레이저 냉각에 적합합니다. CW 시리즈 냉각기는 CO2 유리 레이저 튜브 및 CO2 금속 레이저 튜브 냉각에 매우 널리 사용되며,±1℃ 에게±0.1℃. CWFL 시리즈 냉각기는 500W에서 20000W까지 파이버 레이저 냉각에 이상적이며 독립형 장치 및 랙 장착 장치로 제공됩니다. 어떤 레이저 냉각기를 선택해야 할지 잘 모르겠다면 다음 주소로 이메일을 보내십시오[email protected] 동료들이 곧 회신해 드리겠습니다. 


industrial water chiller

기본 정보
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