Ann an àrainneachd saothrachaidh leth-sheoltairean an latha an-diugh, tha seasmhachd teòthachd bunaiteach airson smachd phròiseasan. Mar a bhios structaran innealan a’ gluasad gu sgèilean nanometer, faodaidh eadhon atharrachaidhean beaga teirmeach buaidh a thoirt air tomhasan cudromach, cunbhalachd film, agus cruinneas co-thaobhadh. Bho ghràbhaladh agus tasgadh gu litagrafaidheachd agus sgrùdadh, tha buaidh dhìreach aig riaghladh teirmeach mionaideach air toradh, coileanadh, agus earbsachd uidheamachd san fhad-ùine.
Carson a tha fuarachadh mionaideach riatanach ann an saothrachadh wafer
1. Cunbhalachd Pròiseas agus Dìon Toraidh
Bidh innealan leth-sheoltairean ag obair fo pharaimeatairean fo smachd teann. Bidh fuaradair gnìomhachais àrd-chruinneas a’ cumail teòthachd an uisge seasmhach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach wafer a’ faighinn eòlas air suidheachaidhean teirmeach co-ionann. Bidh an cunbhalachd seo a’ lughdachadh atharrachadh baidse agus a’ toirt taic do thoradh cinneasachaidh seasmhach.
2. Sgaoileadh Luchd Teas Àrd
Bidh siostaman gràbhaladh plasma, tasgadh CVD/PVD, agus implantachadh ian a’ gineadh teas mòr rè obrachadh. Bidh siostaman fuarachaidh lùb dùinte èifeachdach a’ toirt air falbh cus lùth teirmeach gu sgiobalta, a’ cur casg air drift, a’ dìon phàirtean uidheamachd, agus a’ cumail seasmhachd cinneasachaidh leantainneach.
3. Dìon Siostam Optaigeach is Gluasaid
Tha àrd-ùrlaran litagrafaidh agus sgrùdaidh an urra ri mionaideachd aig ìre nanometer. Faodaidh leudachadh air adhbhrachadh le teòthachd ann an co-chruinneachaidhean optigeach no ìrean gluasaid cron a dhèanamh air co-thaobhadh. Bidh fuaradairean mionaideach a’ cuideachadh le bhith a’ daingneachadh nan fo-shiostaman mothachail seo, a’ gleidheadh cruinneas tomhais agus ath-aithris.
4. Fad-beatha Uidheam Leudaichte
Bidh riaghladh teòthachd seasmhach a’ lughdachadh cuideam teirmeach air seòmraichean, pumpaichean agus structaran meacanaigeach. Thar ùine, bidh seo a’ cur ri tricead cumail suas nas ìsle agus èifeachdas uidheamachd iomlan nas fheàrr (OEE), rud a tha deatamach ann an factaraidhean leth-chonnsachaidh àrd-tomhas-lìonaidh.
Dè a choimheadas tu ann an inneal- fuarachaidh mionaideach ìre leth-sheoltaiche
Mar as trice bidh feum air: ann an saothrachadh leth-sheoltairean
* Cruinneas smachd teòthachd àrd (gu tric ±0.1°C no nas teinne)
* Cuairteachadh lùb dùinte seasmhach
* Crith ìosal agus obrachadh ìosal fuaim
* Sgrùdadh snasail agus dìon rabhaidh ioma-ìre
* Obrachadh leantainneach earbsach, fad-ùine
Bidh siostaman fuarachaidh mionaideach a chaidh a dhealbhadh airson àrainneachdan saothrachaidh adhartach a’ toirt a-steach smachd fuarachaidh seasmhach, prìomh phàirtean àrd-inbhe, agus riaghladh teòthachd tuigseach gus coinneachadh ris na h-iarrtasan teann sin.
Mar eisimpleir, tha fuasglaidhean fuarachaidh mionaideach leithid sreathan TEYU CWUP agus RMUP air an dealbhadh le cruinneas smachd àrd, structaran teann, agus coileanadh seasmhach a tha freagarrach airson tagraidhean a dh’ fheumas riaghladh teirmeach mionaideach. Tha na siostaman seo air an cleachdadh gu farsaing ann an gnìomhachasan far a bheil seasmhachd teòthachd a’ toirt buaidh dhìreach air cruinneas pròiseas, gan dèanamh freagarrach airson suidheachaidhean fuarachaidh co-cheangailte ri leth-chonnsachaidh.
Ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh, tha fuarachadh nas motha na taic-cuideachaidh; tha pàirt riatanach aige ann a bhith a’ dearbhadh phròiseasan. Faodaidh taghadh inneal-fuarachaidh mionaideach a chaidh a thogail airson seasmhachd, earbsachd agus coileanadh fad-ùine luchd-saothrachaidh a chuideachadh gus toradh a dhìon agus ìrean saothrachaidh farpaiseach a chumail suas.
Tha sinn an seo dhut nuair a bhios feum agad oirnn.
Lìon am foirm gus fios a chur thugainn, agus bidh sinn toilichte do chuideachadh.