يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئېنىق سوۋۇتقۇچلار: نېمە ئۈچۈن تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى مۇھىم؟

بۈگۈنكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا، تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى جەرياننى كونترول قىلىشنىڭ ئاساسى. ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسى نانومېتىر ئۆلچىمىگە ئۆتكەندە، ئازراق تېمپېراتۇرا تەۋرىنىشىمۇ مۇھىم ئۆلچەملەر، پىلاستىنكىنىڭ بىردەكلىكى ۋە تەڭشەش توغرىلىقىغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. ئويۇش ۋە چۆكتۈرۈشتىن تارتىپ لىتوگرافىيە ۋە تەكشۈرۈشكىچە، ئېنىق تېمپېراتۇرا باشقۇرۇش مەھسۇلات مىقدارى، ئىقتىدارى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

نېمىشقا ۋافېر ئىشلەپچىقىرىشتا ئېنىق سوۋۇتۇش مۇھىم؟
1. جەرياننىڭ مۇقىملىقى ۋە مەھسۇلات مىقدارىنى قوغداش
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ قوراللار قاتتىق كونترول قىلىنىدىغان پارامېتىرلار ئاستىدا ئىشلەيدۇ. يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سانائەت سوۋۇتقۇچ سۇنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى مۇقىم ساقلايدۇ، بۇ ھەر بىر ۋاپېلنىڭ ئوخشاش ئىسسىقلىق شارائىتىغا ئىگە بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ مۇقىملىق تۈركۈم ئۆزگىرىشىنى ئازايتىدۇ ۋە مۇقىم ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى قوللايدۇ.
2. يۇقىرى ئىسسىقلىق يۈكىنىڭ تارقىلىشى
پلازما ئويۇش، CVD/PVD چۆكمىسى ۋە ئىئون كۆچۈرۈش سىستېمىلىرى ئىشلەش جەريانىدا زور مىقداردا ئىسسىقلىق ھاسىل قىلىدۇ. ئۈنۈملۈك يېپىق دەۋرىيلىك سوۋۇتۇش سىستېمىلىرى ئارتۇق ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسىنى تېز سۈرئەتتە يوقىتىپ، يۆتكىلىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، ئۈسكۈنە زاپچاسلىرىنى قوغدايدۇ ۋە ئۈزلۈكسىز ئىشلەپچىقىرىش مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ.
3. ئوپتىكىلىق ۋە ھەرىكەت سىستېمىسىنى قوغداش
لىتوگرافىيە ۋە تەكشۈرۈش سۇپىلىرى نانومېتىر دەرىجىسىدىكى ئېنىقلىققا تايىنىدۇ. تېمپېراتۇرا سەۋەبىدىن ئوپتىكىلىق قۇرۇلمىلاردا ياكى ھەرىكەت باسقۇچلىرىدا كېڭىيىش ماسلىشىشقا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. ئېنىق سوۋۇتقۇچلار بۇ سەزگۈر تارماق سىستېمىلارنى مۇقىملاشتۇرۇشقا ياردەم بېرىپ، ئۆلچەش توغرىلىقى ۋە تەكرارلىنىشچانلىقىنى ساقلايدۇ.
4. ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆمرى ئۇزارتىلدى
مۇقىم تېمپېراتۇرا تەڭشىشى كامېرا، پومپا ۋە مېخانىكىلىق قۇرۇلمىلارغا تېمپېراتۇرا بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ. ۋاقىتنىڭ ئۆتۈشىگە ئەگىشىپ، بۇ ئاسراش چاستوتىسى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئومۇمىي ئۈنۈمىنى (OEE) يۇقىرى كۆتۈرۈشكە تۆھپە قوشىدۇ، بۇ چوڭ ھەجىملىك ​​يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتلىرىدا ئىنتايىن مۇھىم.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ دەرىجىلىك ئېنىقلىقتىكى سوۋۇتقۇچتا نېمىلەرگە دىققەت قىلىش كېرەك
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئادەتتە تۆۋەندىكىلەرنى تەلەپ قىلىدۇ:
* يۇقىرى تېمپېراتۇرا كونترول قىلىش توغرىلىقى (كۆپىنچە ±0.1°C ياكى تېخىمۇ قاتتىق)
* مۇقىم يېپىق ئايلىنىش
* تۆۋەن تىترەش ۋە تۆۋەن شاۋقۇنلۇق مەشغۇلات
* ئەقلىي ئىقتىدارلىق كۆزىتىش ۋە كۆپ دەرىجىلىك سىگنال قوغداش
* ئىشەنچلىك، ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۈزلۈكسىز ئىشلەش

ئىلغار ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتى ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئېنىق سوۋۇتۇش سىستېمىسى مۇقىم سوۋۇتۇش كونترولى، يۇقىرى سۈپەتلىك يادرولۇق زاپچاسلار ۋە ئەقلىي ئىقتىدارلىق تېمپېراتۇرا تەڭشەشنى بىرلەشتۈرۈپ، بۇ قاتتىق تەلەپلەرنى قاندۇرىدۇ.

مەسىلەن، TEYU CWUP ۋە RMUP يۈرۈشلۈكلىرىگە ئوخشاش ئېنىق سوۋۇتۇش چارىلىرى يۇقىرى كونترول توغرىلىقى، ئىخچام قۇرۇلمىسى ۋە مۇقىم ئىقتىدارى بىلەن لايىھەلەنگەن بولۇپ، ئىنچىكە ئىسسىقلىق باشقۇرۇشنى تەلەپ قىلىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلارغا ماس كېلىدۇ. بۇ سىستېمىلار تېمپېراتۇرا مۇقىملىقى جەريان توغرىلىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدىغان كەسىپلەردە كەڭ قوللىنىلىدۇ، بۇ ئۇلارنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچكە مۇناسىۋەتلىك سوۋۇتۇش ئەھۋاللىرىغا ماسلاشتۇرىدۇ.

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، سوۋۇتۇش پەقەت ياردەمچى قوللاشتىنلا ئىبارەت ئەمەس؛ ئۇ جەرياننىڭ كاپالىتىدە مۇھىم رول ئوينايدۇ. مۇقىملىق، ئىشەنچلىكلىك ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىقتىدار ئۈچۈن لايىھەلەنگەن ئېنىق سوۋۇتقۇچنى تاللاش ئىشلەپچىقارغۇچىلارنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى قوغداش ۋە رىقابەت كۈچىگە ئىگە ئىشلەپچىقىرىش ئۆلچىمىنى ساقلاپ قېلىشىغا ياردەم بېرەلەيدۇ.