Cov Chillers Precision hauv Semiconductor Manufacturing: Vim Li Cas Qhov Kub Ruaj Khov Tseem Ceeb

Hauv kev tsim khoom siv Semiconductor niaj hnub no, qhov kub thiab txias ruaj khov yog qhov tseem ceeb rau kev tswj cov txheej txheem. Thaum cov qauv khoom siv txav mus rau hauv nanometer nplai, txawm tias qhov hloov pauv me me ntawm thermal tuaj yeem cuam tshuam rau qhov loj me tseem ceeb, kev sib npaug ntawm zaj duab xis, thiab kev sib dhos raug. Los ntawm kev etching thiab deposition mus rau lithography thiab kev tshuaj xyuas, kev tswj hwm thermal meej ncaj qha cuam tshuam rau cov txiaj ntsig, kev ua tau zoo, thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv mus sij hawm ntev.

Vim Li Cas Kev Txias Txias Yog Qhov Tseem Ceeb Hauv Kev Tsim Khoom Wafer
1. Kev Sib Xws ntawm Cov Txheej Txheem thiab Kev Tiv Thaiv Cov Khoom Tawm
Cov cuab yeej semiconductor ua haujlwm raws li cov kev cai tswj hwm nruj. Lub tshuab cua txias kev lag luam siab-precision tswj tau qhov kub ntawm dej tas li, ua kom txhua lub wafer muaj cov xwm txheej kub zoo ib yam. Qhov kev sib xws no txo ​​qhov sib txawv ntawm cov khoom thiab txhawb nqa cov zis tsim khoom ruaj khov.
2. Kev Tshem Tawm Kub Kub Siab
Kev siv tshuab plasma etching, CVD/PVD deposition, thiab cov tshuab ion implantation tsim cov cua sov loj thaum lub sijhawm ua haujlwm. Cov tshuab ua kom txias kaw-voj zoo tshem tawm cov zog thermal ntau dhau sai sai, tiv thaiv kev txav mus los, tiv thaiv cov khoom siv, thiab tswj kev ruaj khov ntawm kev tsim khoom tas mus li.
3. Kev Tiv Thaiv Lub Tshuab Kho Qhov Muag thiab Kev Txav Mus Los
Cov platforms lithography thiab kev tshuaj xyuas nyob ntawm qhov tseeb ntawm nanometer. Kev nthuav dav ntawm cov khoom sib dhos lossis cov theem txav mus los uas kub dhau tuaj yeem ua rau muaj kev sib dhos tsis zoo. Cov chillers ua kom raug pab ua kom cov subsystems rhiab heev no ruaj khov, khaws qhov tseeb ntawm kev ntsuas thiab rov ua dua.
4. Lub Neej Siv Khoom Ntev Dua
Kev tswj qhov kub thiab txias ruaj khov txo qhov kev ntxhov siab ntawm cov chav, cov twj tso kua mis, thiab cov qauv kho tshuab. Raws sijhawm, qhov no pab txo qhov zaus saib xyuas thiab txhim kho qhov ua tau zoo ntawm cov khoom siv (OEE), uas yog qhov tseem ceeb hauv cov chaw tsim khoom semiconductor ntau.

Yuav Tsum Saib Dab Tsi Hauv Semiconductor-Grade Precision Chiller
Kev tsim khoom semiconductor feem ntau yuav tsum muaj:
* Kev tswj qhov kub thiab txias siab (feem ntau ± 0.1 ° C lossis nruj dua)
* Kev ncig xyuas kaw ruaj khov
* Kev co qis thiab suab nrov tsawg
* Kev saib xyuas ntse thiab kev tiv thaiv ntau theem ceeb toom
* Txhim khu kev qha, kev ua haujlwm mus sij hawm ntev

Cov tshuab ua kom txias meej uas tau tsim los rau cov chaw tsim khoom siab heev suav nrog kev tswj hwm lub tub yees kom ruaj khov, cov khoom tseem ceeb zoo, thiab kev tswj qhov kub ntse kom ua tau raws li cov kev xav tau nruj no.

Piv txwv li, cov kev daws teeb meem chiller precision xws li TEYU CWUP thiab RMUP series yog tsim los nrog kev tswj hwm qhov tseeb siab, cov qauv me me, thiab kev ua haujlwm ruaj khov uas haum rau cov ntawv thov uas xav tau kev tswj hwm thermal zoo. Cov kab ke no siv dav hauv kev lag luam uas qhov kub thiab txias ruaj khov cuam tshuam ncaj qha rau qhov tseeb ntawm cov txheej txheem, ua rau lawv hloov kho tau rau cov xwm txheej txias ntsig txog semiconductor.

Hauv kev tsim cov khoom siv semiconductor, kev txias tsis yog tsuas yog kev txhawb nqa xwb; nws ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ua kom cov txheej txheem ruaj khov. Kev xaiv lub tshuab txias uas ua kom ruaj khov, ntseeg tau, thiab ua haujlwm tau ntev tuaj yeem pab cov chaw tsim khoom tiv thaiv cov khoom tsim tawm thiab tswj cov qauv kev tsim khoom sib tw.